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晶圆针测平台

紫光宏茂于2016年导入晶圆级测试代工服务,平台由Advantest以及Teradyne已两大平台为主轴,提供存储器晶圆级针测服务,满足客户端全流程封测需求

  • Machine Capability Index  Configuration Picture
    V5400(Tester) Data Rate 100MHz 12ep 
    I/O Channels 4608
    PPS Channels 576
    PMU 144
    Pattern Vector Memory (VM) 16M
    Buffer Memory (BM) 8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR) 128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober) Loader Wafer Size 8, 12 inch

    Position Accuracy ±2um
    XY Resolution 0.1um
    Z Resolution  0.25um
    Temperature Range -40℃~150℃

  • Machine Capability Index  Configuration Picture
    V5400(Tester) Data Rate 50MHz 
    I/O Channels 4608
    PPS Channels 576
    PMU 144
    Pattern Vector Memory (VM) 16M
    Buffer Memory (BM) 8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR) 128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober) Loader Wafer Size 8, 12 inch

    Position Accuracy ±2um
    XY Resolution 0.1um
    Z Resolution  0.25um
    Temperature Range -40℃~150℃

  • Machine Capability Index  Configuration Picture
    V5400(Tester) Data Rate 100MHz 
    I/O Channels 4608
    PPS Channels 576
    PMU 144
    Pattern Vector Memory (VM) 16M
    Buffer Memory (BM) 8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR) 128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober) Loader Wafer Size 8, 12 inch

    Position Accuracy ±2um
    XY Resolution 0.1um
    Z Resolution  0.25um
    Temperature Range -40℃~150℃

  • Machine Capability Index  Configuration Picture
    T5377S(Tester) Data Rate 142.8MHZ
     
    Digital Channels 3712
    PPS 256
    Pattern Memory 72M(high-speed)
    FRMA 8G
    Opus3(Prober) Loader Wafer Size 8, 12 inch
     
    Position Accuracy X/Y : ± 1.5um, Z : ±3um
    XY Resolution 0.0035um
    Z Resolution  0.045um
    Temperature Range -55℃~200℃

  • Machine

    Capability Index 

    Configuration

    Picture

    M2_SV(Tester)

    128 Pin Electronic channels

     

    8 System PMUs(1 per 16 pins)

     

    8 Split DPS(1 per 16 pins)

     

    APG,with larger DBM

     

    Very Deep LVM,SCAN

     

    2 ECRs(1 per 64 pins)

     

    Controller(“X” GHz P-IV)

     

    Opus3(Prober)

    Loader Wafer Size

    8, 12 inch

    Position Accuracy

    X/Y : ± 1.5um, Z : ±3um

    XY Resolution

    0.0035um

    Z Resolution 

    0.045um

    Temperature Range

    -55℃~200℃