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晶圆针测平台

宏茂微于2016年导入晶圆级测试代工服务,平台由Advantest以及Teradyne两大平台为主轴,提供存储器晶圆级针测服务,满足客户端全流程封测需求。

  • MachineCapability Index ConfigurationPicture
    V5400(Tester)Data Rate100MHz 12ep 

    I/O Channels4608
    PPS Channels576
    PMU144
    Pattern Vector Memory (VM)16M
    Buffer Memory (BM)8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR)128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober)Loader Wafer Size8, 12 inch


    Position Accuracy±2um
    XY Resolution0.1um
    Z Resolution 0.25um
    Temperature Range-40℃~150℃


  • MachineCapability Index ConfigurationPicture
    V5400(Tester)Data Rate50MHz 

    I/O Channels4608
    PPS Channels576
    PMU144
    Pattern Vector Memory (VM)16M
    Buffer Memory (BM)8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR)128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober)Loader Wafer Size8, 12 inch


    Position Accuracy±2um
    XY Resolution0.1um
    Z Resolution 0.25um
    Temperature Range-40℃~150℃


  • MachineCapability Index ConfigurationPicture
    V5400(Tester)Data Rate100MHz 

    I/O Channels4608
    PPS Channels576
    PMU144
    Pattern Vector Memory (VM)16M
    Buffer Memory (BM)8 MBIT/32IO
    Error Catch RAM (ECR)128M or 256MBIT/32IO
    UF3000(Prober)Loader Wafer Size8, 12 inch


    Position Accuracy±2um
    XY Resolution0.1um
    Z Resolution 0.25um
    Temperature Range-40℃~150℃


  • MachineCapability Index ConfigurationPicture
    T5377S(Tester)Data Rate142.8MHZ

     

    Digital Channels3712
    PPS256
    Pattern Memory72M(high-speed)
    FRMA8G
    Opus3(Prober)Loader Wafer Size8, 12 inch

     

    Position AccuracyX/Y : ± 1.5um, Z : ±3um
    XY Resolution0.0035um
    Z Resolution 0.045um
    Temperature Range-55℃~200℃


  • Machine

    Capability Index 

    Configuration

    Picture

    M2_SV(Tester)

    128 Pin Electronic channels

     

    8 System PMUs(1 per 16 pins)

     

    8 Split DPS(1 per 16 pins)

     

    APG,with larger DBM

     

    Very Deep LVM,SCAN

     

    2 ECRs(1 per 64 pins)

     

    Controller(“X” GHz P-IV)

     

    Opus3(Prober)

    Loader Wafer Size

    8, 12 inch

    Position Accuracy

    X/Y : ± 1.5um, Z : ±3um

    XY Resolution

    0.0035um

    Z Resolution 

    0.045um

    Temperature Range

    -55℃~200℃